應用介紹

【行業】電子

【設備】半導體晶圓清洗設備

【用途】用于檢測清洗設備內部的結露和周圍的漏液

應用場景

檢測半導體晶圓清洗設備內部液體化學存儲罐的管接頭處的漏液。

解決課題

1、客戶期待在晶圓清洗設備內的液體化學存儲罐的管接頭處安裝高靈敏度且抗腐蝕性強的泄漏檢測傳感器，以便在液體泄漏的初期就能及時發現并報警，避免因強酸、強堿液體泄漏對設備產生腐蝕。

2、客戶此前使用人工巡檢的方法檢測漏液，造成人工成本的上升且無法做到第一時間發現漏液。

價值提案

核心產品：漏液檢測器 K7L

■漏液檢測帶有高度的抗化學品腐蝕能力。電極采用SUS316，絕緣薄層采用聚乙烯，提高了耐酸堿性。

■采用交流方式向檢測帶供給信號，安全不觸電。

■將檢測帶纏繞在管接頭處等有可能漏液的部位上檢測漏液，無需通過人工巡檢。

■從50MΩ電阻液體到普通水都能穩定檢測。可設定4級檢測范圍，能夠根據液體特性檢測。

相關產品

漏液檢測器

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/564/

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