半導體制造對潔凈度、精度和可靠性要求極高。史陶比爾憑借卓越的技術實力，推出專為潔凈室設計的六軸機器人，廣泛應用于晶圓加工、掩膜版處理及后道工藝等環節。

史陶比爾CR/SCR機器人具備高負載能力、低顆粒排放、內部走線設計，滿足ISO 2至ISO 4級潔凈標準。無論是FOUP搬運還是碳化硅晶圓處理，史陶比爾都能提供穩定可靠的自動化解決方案，助力客戶實現高效生產與品質保障。

晶圓自動搬運

晶圓搬運是半導體制造中的關鍵環節，任何微小震動都可能造成損傷。史陶比爾與SüSS MicroTec合作，打造基于六軸潔凈室機器人的涂膠與顯影系統，實現晶圓在拾取與嵌入過程中的無顫動搬運。機器人精準軌跡控制，即使在高速運行下也能保持穩定，有效降低破片風險。其高潔凈度設計確保晶圓在氧化、光刻、CMP等工藝中安全流轉，保障產品良率。

晶圓潔凈存儲系統

在空間有限的潔凈室中，如何高效存儲高價值晶圓？史陶比爾與Fabmatics聯合開發CubeStocker系統，采用TX2-90XL SCR六軸機器人為核心，實現200個晶圓盒的高密度存儲。系統自帶潔凈空氣供應，滿足ISO潔凈標準，緊湊設計可靈活部署于狹小空間。CubeStocker不僅提升存儲效率，更為晶圓生產提供潔凈緩沖區，助力客戶降本增效。

FOSB全自動封裝

FOSB封裝流程繁瑣且易出錯，史陶比爾與cts GmbH聯合開發ABT系統，打造高度集成的自動化封裝解決方案。系統集成視覺識別、RFID參數讀取、標簽打印與質量檢測，兩臺TX2-160潔凈室機器人精準完成內外袋封裝與傳送。該系統每月可處理8000個FOSB，顯著提升產量與穩定性，有效降低人為失誤與污染風險，全面滿足半導體行業對潔凈度與效率的雙重要求。

晶圓清洗工序中的“無接觸搬運”

在晶圓清洗環節，史陶比爾SCR超凈室機器人與德國PTW SpinTec公司合作，采用伯努利傳輸系統實現無接觸搬運。機器人精準操控，保障清洗效果一致性，有效提升產品良率。其超緊湊設計節省空間，低顆粒排放符合ISO 2級標準，專為高潔凈度環境打造。這一創新方案重新定義了晶圓清洗的安全與效率，為半導體制造注入新動能。

關于史陶比爾機器人

史陶比爾機器人事業部專注于高性能工業自動化解決方案，產品涵蓋四軸和六軸工業機器人、移動機器人以及自動導引運輸車（AGV）。這些機器人系統具備卓越的精度、速度與環境適應性，廣泛應用于汽車制造、電子、醫療、食品、制藥等高要求行業。

我們致力于幫助客戶在工業4.0時代實現智能制造轉型，滿足復雜工藝流程下的自動化需求。

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