AWM3100V氣體質量流量傳感器
- 型號：AWM3100V
- 數量：300
- 制造商：美國
- 有效期：2099/1/23 0:00:00
描述：
● 激光校整保證了一致的互換性；
●測量流速可至1.0LPM 。
AWM3300是輸出為1-5V 的氣體質量流量傳感器，圖1、圖2、圖3 分別為AWM3300氣體質量流量傳感器內部的發熱器控制電路、雙傳感電路、差分放大電路圖。
圖1 AWM3300氣體質量流量傳感器內部的發熱器控制電路 圖2 AWM3300氣體質量流量傳感器內部的雙傳感電路
3圖 AWM3300氣體質量流量傳感器內部的差分放大電路圖
AWM3000系列氣體質量流量傳感器技術規格：10.0±0.01VDC
|
|
AWM3100V
|
AWM3150V
|
AWM3200V
|
AWM3300V
|
||
|
流量范圍（span）
|
+200sccm
|
+30sccm
|
|
+1000sccm
|
||
|
壓力范圍(psi)
|
|
|
|
|
||
|
(參照附錄)
|
|
|
±2.0”水柱
|
|
||
|
輸出電壓
|
5VDC@
|
3.4VDC@
|
5VDC@
|
5VDC
|
||
|
@ 標定點
|
200sccm
|
25sccm
|
2”水柱
|
1000sccm
|
||
|
零點電壓
|
1.00±0.05VDC
|
1.00±0.1VDC
|
1.00±0.08mV
|
1.00±0.1VDC
|
||
|
零點漂移
|
|
|
|
|
||
|
+25~-25˚C
|
±25mV
|
±100mV
|
±25mV
|
±25mV
|
||
|
+25~+85˚C
|
|
|
|
|
||
|
輸出電壓漂移
|
|
|
|
|
||
|
Max
|
|
|
|
|
||
|
+25~-25˚C
|
-4% 讀數
|
±5.0% 讀數
|
+24.0% 讀數
|
-5% 讀數
|
||
|
+25~+85˚C
|
+4% 讀數
|
±5.0% 讀數
|
-24.0% 讀數
|
+5% 讀數
|
||
|
重復性& 遲滯Max
|
±0.5% 讀數
|
± 1% 讀數
|
±0.5% 讀數
|
±1% 讀數
|
||
|
|
Min Typ.
|
Max.
|
|
|||
|
電源（VDC）
|
8.0 10±0.01
|
15 (2)
|
|
|||
|
功耗（mW）
|
50
|
60
|
|
|||
|
反應時間（ms）
|
1.0
|
3.0 (1)
|
|
|||
|
共模壓力(psi)
<, /TD> |
|
25
|
|
|||
|
工作溫度
|
-25~85˚C
|
|
|
|||
|
儲存溫度（˚C）
|
-40~90˚C
|
|
|
|||
|
沖擊(5drops,6axis)
|
100g峰值(5drops,6axis)
|
|
|
|||
注：1、信號處理最初預熱所須時間最多1 分鐘
2、輸出電壓隨電源電壓而比率變化
3、差壓器件的溫漂主要是由氣體的濃度隨溫度而變化
氣流器件的溫漂主要是薄膜TCR 的系數的二次根及厚膜電阻的溫飄，加上運放的溫飄
4、為防止損壞，最大允許流量變化值：5.0SLPM/1.0 秒
2、輸出電壓隨電源電壓而比率變化
3、差壓器件的溫漂主要是由氣體的濃度隨溫度而變化
氣流器件的溫漂主要是薄膜TCR 的系數的二次根及厚膜電阻的溫飄，加上運放的溫飄
4、為防止損壞，最大允許流量變化值：5.0SLPM/1.0 秒
AWM3000系列氣體質量流量傳感器推薦型號:
|
推薦型號
|
量程
|
|
AWM3100V
|
+200SCCM
|
|
AWM3201CR
|
±0.5 英寸水
|
|
AWM3200V
|
±2 英寸水
|
|
AWM3300V
|
+1000SCCM
|
注：AWM3000系列氣體質量流量傳感器正向氣流方向被定義為從P１孔流向P2孔，并導致正的輸出，不要施加超過10磅的力在２個測量空孔的每個方向上。
聯系方式:
- 電話：13466310082 010-62979481
- 傳真：010-82533965
- email：ysg109@163.com
更多內容請訪問 ysg109（http://home.gongkong.com/profile/?uid=2009021709595500001)
