應(yīng)用介紹

【行業(yè)】PV

【設(shè)備】PECVD

【用途】在太陽(yáng)能電池表面沉積薄膜，提高電池的效率和性能

應(yīng)用場(chǎng)景

單臺(tái)設(shè)備分為5個(gè)爐管，每個(gè)爐管分為6個(gè)溫區(qū)，通過(guò)串級(jí)控制實(shí)現(xiàn)對(duì)腔體內(nèi)部的控溫。

解決課題

1、關(guān)乎鍍膜效率的核心數(shù)據(jù)：升溫和回溫速度較慢，從0度升到目標(biāo)500度需要40分鐘以上；加入氣體以及硅片回溫到目標(biāo)溫度需要15分鐘。

2、溫控精度影響鍍膜的均勻度以及電池效率，目前設(shè)備只能達(dá)到±5℃。

價(jià)值提案

核心產(chǎn)品：溫度控制單元 NX-TC

■自帶外部干擾抑制功能，能夠針對(duì)可預(yù)測(cè)的外部干擾預(yù)先抑制溫度變化。實(shí)現(xiàn)升溫時(shí)間（40min→35min）與回溫時(shí)間（15min→13min）的縮短。

■啟動(dòng)時(shí)自動(dòng)調(diào)整PID，有效削減繁瑣調(diào)整的工時(shí)。溫控穩(wěn)定（ ±5℃ → ±3℃）

相關(guān)產(chǎn)品

NX系列 溫度控制單元 NX-TC

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3699/

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