Horizon干涉測厚控制器應(yīng)用廣泛，可優(yōu)化工藝、減少浪費(fèi)和提高質(zhì)量。馬波斯新一代干涉測量技術(shù)可有效提高精密測量能力。

新一代Horizon干涉控制器可滿足半導(dǎo)體、3C（計(jì)算機(jī)、通信和消費(fèi)電子）等行業(yè)的精密測量要求。Horizon以前沿的技術(shù)和長期的高穩(wěn)定性，確保實(shí)現(xiàn)高精度的納米級(jí)厚度測量。無論是在線生產(chǎn)控制還是實(shí)驗(yàn)室尺寸檢測，Horizon產(chǎn)品都可以在嚴(yán)苛應(yīng)用中提供可靠和優(yōu)異的表現(xiàn)。

Horizon應(yīng)用廣泛，可滿足許多行業(yè)有關(guān)工藝優(yōu)化、降本增效和質(zhì)量提升所需精密測量的要求。在半導(dǎo)體行業(yè)，Horizon干涉控制器不可或缺，在生產(chǎn)中可實(shí)現(xiàn)晶圓精密定位、平面度控制、光刻掩模精密找正。這些能力是現(xiàn)代化半導(dǎo)體生產(chǎn)實(shí)現(xiàn)高性能和微型化的有效保證。

在3C行業(yè)，Horizon是一款功能強(qiáng)大的檢測方案，可測量和測試電子器件和設(shè)備。其廣泛的用途包括從確保微芯片的可靠性到消費(fèi)電子結(jié)構(gòu)完整性，Horizon杰出的測量功能確保高科技產(chǎn)品始終如一的高質(zhì)量和耐用性。

優(yōu)勢：

• 超精密：干涉技術(shù)測量精度高達(dá)納米級(jí)，是嚴(yán)格控制質(zhì)量的有效手段

• 高柔性產(chǎn)品：Horizon支持不同的波長與傳感器組合，確保在不同材料、工件類型和應(yīng)用的檢測中達(dá)到高性能。

• 工業(yè)級(jí)可靠性：Horizon控制器支持嚴(yán)苛的生產(chǎn)環(huán)境，嚴(yán)格遵守行業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)，確保實(shí)現(xiàn)長久一致的高性能。

• 無縫集成：Horizon控制器設(shè)有多個(gè)I/O接口和通信接口，通過現(xiàn)場總線可輕松連接現(xiàn)有產(chǎn)線和新一代產(chǎn)線。

• 同步多點(diǎn)測量：支持多達(dá)三個(gè)編碼器，進(jìn)行同步測量和動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)收集。如果需要多個(gè)測量點(diǎn)的復(fù)雜應(yīng)用，Horizon控制器可以主從同步的模式部署。

• 全面的軟件套件：

  • MIC工具：現(xiàn)代化的參數(shù)設(shè)置配置器，優(yōu)化的設(shè)計(jì)支持不同的材料和幾何形狀。

  • SDK工具：這是第三方軟件集成的理想工具，也是OEM和夾具制造商的首選工具。

  • 馬波斯Windows?版Quick SPC?：工藝和質(zhì)量控制套件有著直觀易用的用戶界面，為不同行業(yè)提供專用組件。

技術(shù)規(guī)格：

• 測量技術(shù)：納米級(jí)精度的干涉測量

• 測量分辨率：高達(dá)納米級(jí)

• 傳感器兼容性：可針對(duì)特定應(yīng)用和材料，在豐富的傳感器中選擇所需產(chǎn)品

• 接口和可連接性：

• • 模擬輸出

  • 現(xiàn)代化的數(shù)字接口，無縫進(jìn)行系統(tǒng)集成

  • 現(xiàn)場總線就緒，支持工業(yè)4.0應(yīng)用

• 多點(diǎn)測量：支持多達(dá)三個(gè)編碼器，動(dòng)態(tài)在線采集測量數(shù)據(jù)

• 同步系統(tǒng)：主從網(wǎng)絡(luò)功能，支持復(fù)雜測量方案