馬波斯新推出先進(jìn)的Horizon 干涉測(cè)量控制器，在半導(dǎo)體、3C（計(jì)算機(jī)，通信，電子消費(fèi)）等其它需要納米級(jí)高精度測(cè)量的行業(yè)，這款光譜控制器無(wú)疑都是其理想的選擇。

Horizon的工作原理為干涉測(cè)量，分辨率高達(dá)納米級(jí)，不僅重復(fù)精度高，而且長(zhǎng)期測(cè)量穩(wěn)定性高。非接觸干涉測(cè)量，可以最大限度減少熱漂移和磨損，充分滿足晶圓檢測(cè)和平面度測(cè)量、光刻掩模找正以及微電子器件檢測(cè)的應(yīng)用要求。

Horizon產(chǎn)品線柔性高，工作的波長(zhǎng)范圍大并支持多種傳感器，在不同材質(zhì)、表面狀況和環(huán)境限制條件下都可測(cè)量。也允許使用多個(gè)傳感器，可根據(jù)應(yīng)用要求定制配置，同時(shí)保持理想的測(cè)量穩(wěn)定性。

Horizon可充分滿足高科技行業(yè)對(duì)嚴(yán)苛精密度和可靠性質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的要求。精密加工需要納米級(jí)高分辨率，為此需要可靠的結(jié)構(gòu)，以確保檢測(cè)方案可在測(cè)試和生產(chǎn)環(huán)境中平穩(wěn)運(yùn)行。而且充分滿足工業(yè)計(jì)量要求，可進(jìn)行尺寸的線下和線上控制。

Horizon設(shè)有多種協(xié)議的模擬和數(shù)字輸入輸出接口，可以無(wú)縫集成工業(yè)自動(dòng)化系統(tǒng)，通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)總線和高速通信接口實(shí)時(shí)傳輸數(shù)據(jù)，保持多編碼器同步，全動(dòng)態(tài)測(cè)量。主/從式的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)可在多點(diǎn)測(cè)量應(yīng)用中保持測(cè)量的同步。

Horizon可運(yùn)行豐富的軟件套件，進(jìn)一步提升使用體驗(yàn)，例如MIC Tool高級(jí)參數(shù)配置軟件支持大量不同材質(zhì)和幾何特征，SDK Tool軟件可集成OEM測(cè)量和自動(dòng)化系統(tǒng)，而馬波斯Windows?版Quick SPC?軟件可進(jìn)行全功能的統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制并提供應(yīng)用行業(yè)所專(zhuān)用的插件。

Horizon控制器旨在滿足高精度應(yīng)用的嚴(yán)苛要求，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程的嚴(yán)格控制、有效降低廢品率和確保產(chǎn)品質(zhì)量。該產(chǎn)品是半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的理想選擇，包括晶圓找正、蝕刻深度的測(cè)量和缺陷檢測(cè)等，也是3C行業(yè)結(jié)構(gòu)完整性分析和組件檢測(cè)的理想選擇。

隨著Horizon光譜控制器的上市，馬波斯得以為市場(chǎng)提供了行業(yè)領(lǐng)先的解決方案，該解決方案結(jié)合了精度、速度和穩(wěn)健性，可滿足新一代制造業(yè)最苛刻的要求。