真空系統(tǒng)部件的幾何精度直接決定了半導(dǎo)體設(shè)備的真空保持能力、密封可靠性及運(yùn)動(dòng)部件的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。其尺寸與形位公差的微小偏差可能導(dǎo)致氣體泄漏、顆粒產(chǎn)生或部件卡滯，嚴(yán)重影響機(jī)臺(tái)正常運(yùn)行時(shí)間與半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)良率。

當(dāng)前真空系統(tǒng)核心部件（包括真空閥桿、密封軸件、腔體等）在精密加工與處理工序后，在關(guān)鍵二維尺寸與形位公差檢測(cè)方面面臨的瓶頸。

當(dāng)前依賴(lài)工具顯微鏡、投影儀、千分尺及手動(dòng)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（CMM）的檢測(cè)方式，存在明顯不足：

• 效率與通量低下：手動(dòng)逐點(diǎn)測(cè)量、對(duì)焦、取數(shù)的方式耗時(shí)極長(zhǎng)，尤其是多截面、多參數(shù)的檢測(cè)需求，已成為制約生產(chǎn)節(jié)拍與大規(guī)模抽檢的瓶頸。

• 人為誤差與一致性差：操作人員對(duì)焦、采點(diǎn)的判斷差異直接影響重復(fù)性與再現(xiàn)性，難以保證測(cè)量結(jié)果的客觀(guān)統(tǒng)一，不利于工藝能力的精準(zhǔn)評(píng)估。

• 數(shù)據(jù)維度孤立：傳統(tǒng)工具通常只能獲取單個(gè)尺寸的數(shù)據(jù)，難以在一次裝夾中快速、完整地獲取一個(gè)部件上所有關(guān)鍵二維尺寸（如多個(gè)截面的直徑、圓度、間距）并建立其相互關(guān)系。

光子精密QM系列閃測(cè)儀作為國(guó)產(chǎn)新一代二維影像測(cè)量系統(tǒng)，采用2000W像素高分辨率鏡頭與大視野高精度成像技術(shù)，結(jié)合智能圖像處理算法，可一次性快速獲取工件整個(gè)表面的二維輪廓數(shù)據(jù)，其技術(shù)特性精準(zhǔn)針對(duì)上述痛點(diǎn)。

1. 車(chē)削與磨削工序后的快速全尺寸與形位公差檢測(cè)：
對(duì)于車(chē)削或磨削完成的閥桿、軸件，傳統(tǒng)方式需在不同儀器間流轉(zhuǎn)，多次裝夾，分別測(cè)量直徑、長(zhǎng)度、圓度。QM閃測(cè)儀通過(guò)其大視野高分辨率鏡頭，一次拍照即可覆蓋多個(gè)工件的關(guān)鍵區(qū)域。其智能軟件自動(dòng)識(shí)別工件輪廓，并依據(jù)預(yù)設(shè)程序，在數(shù)秒內(nèi)同時(shí)完成最多1000個(gè)指定截面的直徑、圓度測(cè)量，各臺(tái)階高度、溝槽尺寸的測(cè)量，以及基于不同截面圓心計(jì)算的同心度評(píng)估。不僅將檢測(cè)分鐘甚至小時(shí)級(jí)縮短至秒級(jí)，更確保了所有尺寸基于同一基準(zhǔn)和裝夾狀態(tài)，數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)性更強(qiáng)，能更真實(shí)地反映部件的綜合精度。

2. 精密部件（如密封軸件）的批量終檢與質(zhì)量篩分：
在密封軸件等大批量生產(chǎn)場(chǎng)景下，全檢或高比例抽檢是保障質(zhì)量底線(xiàn)的手段。QM閃測(cè)儀的“一鍵測(cè)量”與“程序化全自動(dòng)運(yùn)行” 特性在此發(fā)揮極大優(yōu)勢(shì)。操作員僅需將工件放入載物臺(tái)大致位置，設(shè)備即可自動(dòng)完成定位、拍照、測(cè)量、判斷、數(shù)據(jù)輸出全過(guò)程。其0.5μm的重復(fù)精度保證了批量檢測(cè)的可靠性，高效攔截不合格品，防止其流入裝配環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)質(zhì)量門(mén)控的智能化與無(wú)人化。

3. 表面處理前后的關(guān)鍵尺寸驗(yàn)證與缺陷普查：
在部件進(jìn)行鍍層、氧化等表面處理前后，需要驗(yàn)證處理工藝是否引入了尺寸變化或表面缺陷。QM閃測(cè)儀通過(guò)其高對(duì)比度的多角度照明系統(tǒng)，可以清晰凸顯工件表面的微觀(guān)紋理與邊緣。通過(guò)處理前后對(duì)同一工件執(zhí)行相同的自動(dòng)化測(cè)量程序，可以精確量化鍍層導(dǎo)致的直徑微小增厚。同時(shí)，通過(guò)大視野與高精度的雙視野拼接，可以快速對(duì)密封配合面等關(guān)鍵區(qū)域進(jìn)行尺寸檢測(cè)。

4. 密封性能的間接評(píng)估與裝配前預(yù)驗(yàn)證：
密封性能雖需專(zhuān)用檢漏儀測(cè)試，但其幾何基礎(chǔ)是前提。QM閃測(cè)儀可對(duì)構(gòu)成密封系統(tǒng)的配對(duì)部件進(jìn)行快速測(cè)量與虛擬裝配分析。例如，通過(guò)精確測(cè)量密封槽的寬度、底部圓角半徑，并與密封圈的截面尺寸進(jìn)行比對(duì)，可以提前評(píng)估壓縮率是否在設(shè)計(jì)范圍內(nèi)。

面對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)真空系統(tǒng)可靠性日益嚴(yán)苛的要求，提升其核心部件的幾何精度檢測(cè)能力是確保整機(jī)性能的基礎(chǔ)。QM系列閃測(cè)儀以其核心優(yōu)勢(shì)，為高效、精準(zhǔn)地管控真空閥桿、密封軸件及腔體部件的二維尺寸與形位公差提供了解決方案。直接應(yīng)用于車(chē)削、磨削及表面處理后的關(guān)鍵工序檢測(cè)，并可通過(guò)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)工藝優(yōu)化與預(yù)防性質(zhì)量控制。