芯片生產(chǎn)必須步步精心，不容差池，劃片便是其中極為精細的工序之一，必須刀刀精準。馬波斯提供創(chuàng)新的VBI（破刀偵測）方案，可有效監(jiān)控晶圓劃片中所使用的切割刀，確保劃片的高質(zhì)量和高可靠性，同時有效降低廢品率。馬波斯 VBI破刀偵測是一款開創(chuàng)性的監(jiān)控方案，頻率高并實現(xiàn)了全數(shù)字化

馬波斯 VBI 破刀偵測方案不僅可以縮短現(xiàn)有破刀偵測周期時間，還提供高級功能：所搭載的線陣傳感器可實時測量切割刀的磨損和刀形。用戶界面簡潔并采用數(shù)字通信技術，馬波斯VBI破刀偵測方案可通過 WebServer 快速、輕松完成設置，無需復雜操作。

描述：

馬波斯研發(fā)生產(chǎn)的破刀偵測（VBI）方案徹底改寫了晶圓劃片過程，精度和可靠性更高，并可在劃片中連續(xù)監(jiān)控切割刀的劃片操作，確保劃片質(zhì)量穩(wěn)定如一并達到更低廢品率。先進的監(jiān)控技術可實時測量切割刀的磨損和刀形，減少廢品并可無縫集成在現(xiàn)有生產(chǎn)流程中。

.劃片操作在多個方面與切割刀監(jiān)控傳感器密切相關。

感器檢查切割刀位置（NCS），確保切割刀相對晶圓的位置正確，避免位置誤差造成芯片缺陷。馬波斯監(jiān)控方案速度更快，重復精度也非常高。劃片過程中，實時分析傳感器所采集的數(shù)據(jù)，檢測切割刀破損（BBD），提高劃片質(zhì)量和劃片操作的整體效率。此傳感器還可監(jiān)控切割刀的磨損程度并報告給操作員或激活自動換刀系統(tǒng)。

馬波斯的這款產(chǎn)品包含一個控制器，該控制器可同時連接兩個傳感器，且傳感器的功能可相同，也可不同。

優(yōu)勢：

• 高級監(jiān)控：高過程可靠性

• NCS循環(huán)：高定位速度和高重復精度

• 高采樣速度：連續(xù)、快速采集圖像，實時監(jiān)控

• 高級BBD算法：過濾冷卻液，快速檢測切割刀破損，減少誤報

• 高質(zhì)量傳輸信號：無光纖器件，抗干擾性能優(yōu)異

• 更短非生產(chǎn)性時間：監(jiān)測范圍達1.8 mm，定位時間更短，生產(chǎn)效率更高

• 易于集成：輕松集成在劃片機上，無需繁雜改造

• 配置簡單明了：在內(nèi)置的Web Server上輕松編程

• 高級功能：根據(jù)環(huán)境照明條件自動設置傳感器