STIL光譜共焦傳感器可非接觸式測量厚度，在不同應用中測量透明樣品或臺階高度差，例如工業生產的線上測量或實驗室測量。 

測量原理是測量兩個表面位置，即使兩個不同反光率表面，也可同時測量另一個表面的位置。2個表面的距離測量值之差為厚度值，用此測量透明樣品厚度。

用相同方法可測量多個透明層的樣品：部分馬波斯STIL控制器支持多層厚度測量。

優勢：

• 高軸向分辨率：納米級（nm）

• 高橫向分辨率：微米級（μm）

• 光學筆中僅有無源組件

• 高信噪比

• 支持不同類型樣品

• 可選測量范圍廣

• 大數值孔徑（NA）支持大斜角

• 同軸（無?陰影?）

• 無?散斑?

描述：

馬波斯STIL光學筆由多種型號可選，從單個測量點到沿直線或在區域內分布的多個測量點。

馬波斯STIL光學筆可互換使用，可在不同的應用中和不同表面反光率的應用中保持測量高靈活性、高可靠性和高適用性：例如透明、不透明、鏡面、漫反射表面。

對于透明樣品，例如玻璃，技術參數中所示的最小測量厚度是考慮了光線穿過玻璃折射率n=1.5的情況。 

同樣，透明樣品的最大厚度也取決于折射率，例如玻璃。